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大功率半导体器件生产线的酸雾净化系统设计
doi: 10.13205/j.hjgc.201001022
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摘要: 介绍了大功率半导体器件生产线的酸雾净化系统设计,该系统可靠性高,结构合理,实现了对酸碱废气的净化处理,为类似工程的设计提供了参考。
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| 引用本文: |
李杨. 大功率半导体器件生产线的酸雾净化系统设计[J]. 环境工程, 2010, 28(1): 70-72. doi: 10.13205/j.hjgc.201001022
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